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產(chǎn)品列表 / products

日本ULVAC CFB-1200F風(fēng)冷復(fù)合分子泵技術(shù)資料

更新時(shí)間:2015-12-28 點(diǎn)擊量:1041

一、產(chǎn)品簡介

        CFB-F系列風(fēng)冷復(fù)合分子泵的性能與復(fù)合分子泵一樣,適用于沒有水源且環(huán)境溫度不高的地方,或經(jīng)常移動(dòng)的排氣機(jī)組等。

 

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

        復(fù)合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng);由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

 

三、主要性能指標(biāo)

 

型號

CFB-1200F

訂貨號

3165

3166

進(jìn)氣口法蘭

LF200

CF200

排氣口法蘭

KF40

抽氣速率

L/s

1200

壓縮比N2/H2

1×109/1×104

極限壓強(qiáng)

Pa

5×10-7

8×10-8   

電機(jī)轉(zhuǎn)速

rpm

24000

啟動(dòng)時(shí)間

min

<5

振動(dòng)值

μm

≤0.1

前極泵

L/s

8-15

冷卻方式

(環(huán)境溫度<37℃)

泵體烘烤溫度

<120

加熱器功率

W

<600

加熱器輸入電壓

V

AC220

安裝方向

垂直±5°

重量

kg

~35

 


四、特性曲線及安裝尺寸

 

CFB系列風(fēng)冷復(fù)合分子泵安裝尺寸表

 

型號規(guī)格

CFB-1200F

高真空法蘭

LF200

CF200

D1

Ф240

Ф253

D2

Ф267

Ф267

D3

□167.6

□167.6

L1

142

142

L2

152

152

H1

467

467

H2

70

70

H3

178.5

178.5

H4

151

151

泵腿螺釘孔

4-M8

4-M8

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